激光共聚焦显微镜是一款非接触式三维形貌测量工具，其最大的优点是可以在Z轴大量程内实现对表面有微小凹凸，不同反射率的样品进行测量，其测量图像类似SEM照片，由于采用非接触式测量方式，它可以对柔软样品和粘性样品进行精确处理。

Ø垂直分辨率：0.01微米

Ø水平分辨率：0.12微米

Ø垂直最大量程：100毫米

Ø时间：6月4日下午2：30

Ø培训地点：曲江校区西五楼超净室A116

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