汇报题目：基于Fabry-Perot式的MEMS红外滤波器非理想表面研究。
汇报时间：2020年6月3日（星期三） 15:00
汇报地点：机械制造国家重点实验室A404
汇 报 人：蒋康力
留学学校：The University of Western Australia
导 师：韦学勇 教授
国外导师：Mariusz Martyniuk
报告摘要：红外滤波器，它可以分为近红外、中红外和远红外，能用在很多检测场所。在工业领域，可以用来气体检测、火灾检测、矿物检测等；在农业领域可以用来检测植物健康、土壤水分、土壤有机质分析等。微机电系统（MEMS）技术成本低、便携性好、同时精度高，将MEMS和红外滤波器相结合能够充分发挥MEMS的优势，获得一种高性能的红外滤波器同时成本更低、尺寸更小。本报告所研究的MEMS红外滤波器采用Fabry-Perot的光学原理和分布布拉格反射镜（DBR）的材料技术，利用微纳加工工艺制备而成。然而实际加工出来的芯片往往和理想中的有一定的差距，主要体现在加工误差带来的不平整性，包括粗糙、倾斜，和器件的不对称性带来的一定程度的偏转，从而会影响滤波器的输出性能。本报告针对这一问题，对这种非理想的不平整状态进行仿真分析，并对加工后的芯片进行测试，通过测试其主要性能指标：输出中心波长、透射率和FWHM(半峰值全宽度值)，分析其性能受影响程度，并为之后的制备提供参考和改进的建议。
